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Multiheight 可变高度测试台

Multiheight可变高度测试台配合RM300控制器,为薄膜、晶片和晶锭样品的表面电阻率测试提供解决方案。

  • 产品型号: (Automatic) Multiheight Probe Station
  • 产品品牌: JANDEL(英国)
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  • 技术参数
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Jandel公司提供的RM300测试单元结合可调节高度支架探头,可为各种各样的测量提供解决方案.

这种组合方式是目前Jandel公司最受欢迎的产品.

该系统可用于测量各种薄层的小尺寸样本以及直径300mm高250mm的晶圆锭 (检测厚样品之前要咨询)。

可测晶片直径 D≤250mm,(可选配D≤300mm,无需付费)
可测晶片厚度 H≤250mm,(可更厚,请咨询)
微动开关 防止探针不与样品接触时的电流流动
手动控制 探针接触和移动的简单杠杆操作
装配简单 RM300和四探针探头通过单线连接

系统配置

组成部件:

1.     测试台——一个
2.     可调节高度主机——一台
3.     可调节高度轴杆——一根
4.     四探针探头——一个
5.     连接电缆——一根

设备尺寸:

可调节高度测试台: W×L×H(mm)250×290×8(320×370×8,可选)

可调节高度探头组件:W×L×H(mm)60×280×80(60×330×80,可选)

可调节高度的轴杆:D(mm)19;L(mm)200(可定制最高高度到1000mm)

与国外供应商合作,源头采购,保证原装正品,为客户提供整体解决方案。