Multiheight可变高度测试台配合RM300控制器,为薄膜、晶片和晶锭样品的表面电阻率测试提供解决方案。
Jandel公司提供的RM300测试单元结合可调节高度支架探头,可为各种各样的测量提供解决方案.
这种组合方式是目前Jandel公司最受欢迎的产品.
该系统可用于测量各种薄层的小尺寸样本以及直径300mm高250mm的晶圆锭 (检测厚样品之前要咨询)。
可测晶片直径 | D≤250mm,(可选配D≤300mm,无需付费) |
可测晶片厚度 | H≤250mm,(可更厚,请咨询) |
微动开关 | 防止探针不与样品接触时的电流流动 |
手动控制 | 探针接触和移动的简单杠杆操作 |
装配简单 | RM300和四探针探头通过单线连接 |
系统配置
组成部件:
1. 测试台——一个
2. 可调节高度主机——一台
3. 可调节高度轴杆——一根
4. 四探针探头——一个
5. 连接电缆——一根
设备尺寸:
可调节高度测试台: W×L×H(mm)250×290×8(320×370×8,可选)
可调节高度探头组件:W×L×H(mm)60×280×80(60×330×80,可选)
可调节高度的轴杆:D(mm)19;L(mm)200(可定制最高高度到1000mm)
与国外供应商合作,源头采购,保证原装正品,为客户提供整体解决方案。